Үйл ажиллагааны зарчим, төрөл ба хэрэглээлазер цэвэрлэгээтехнологи
Лазер цэвэрлэх технологи нь инженерийн салбарт лазер технологийг амжилттай хэрэгжүүлдэг. Үүний үндсэн зарчим нь лазерын өндөр энергийн нягтралыг ашиглан ажлын материалын суурь дээр наалдсан бохирдуулагчтай харилцан үйлчилж, тэдгээрийг шууд дулааны тэлэлт, хайлалт, хийн ууршилт хэлбэрээр суурьаас салгахад хүргэдэг. Лазер цэвэрлэх технологи нь өндөр үр ашигтай, байгаль орчинд ээлтэй, эрчим хүч хэмнэдэг гэдгээрээ онцлог юм. Үүнийг дугуйны хэв цэвэрлэх, онгоцны кузовын будаг арилгах, соёлын дурсгалт зүйлсийг сэргээх зэрэг салбарт амжилттай хэрэгжүүлж ирсэн.
Уламжлалт цэвэрлэгээний технологиуд нь дараахь зүйлийг агуулдаг.механик үрэлтийн цэвэрлэгээ(элсээр цэвэрлэх, өндөр даралттай усны тийрэлтэт цэвэрлэгээ гэх мэт), химийн зэврэлтээс цэвэрлэх, хэт авианы цэвэрлэгээ, хуурай мөс цэвэрлэх гэх мэт. Эдгээр цэвэрлэгээний технологиудыг янз бүрийн салбарт өргөн ашиглаж ирсэн. Жишээлбэл, элсээр цэвэрлэх нь металлын зэвний толбо, металл гадаргуугийн үрэлт, хэлхээний самбар дээрх гурван хамгаалалттай лакыг янз бүрийн хатуулагтай зүлгүүрийн бодис сонгосноор арилгаж чадна. Химийн зэврэлтээс цэвэрлэх технологийг тоног төхөөрөмжийн гадаргуу дээрх тосны толбо, бойлер, газрын тос дамжуулах хоолойн хайрсыг цэвэрлэхэд өргөн ашигладаг. Эдгээр цэвэрлэгээний технологиуд сайн хөгжсөн боловч зарим асуудал байсаар байна. Жишээлбэл, элсээр цэвэрлэх нь боловсруулсан гадаргуу дээр амархан гэмтэл учруулж болзошгүй бөгөөд химийн зэврэлтээс цэвэрлэх нь зохих ёсоор боловсруулаагүй тохиолдолд хүрээлэн буй орчны бохирдол, цэвэрлэсэн гадаргуугийн зэврэлтийг үүсгэж болзошгүй юм. Лазер цэвэрлэх технологийн гарч ирсэн нь цэвэрлэх технологийн хувьсгалыг илэрхийлж байна. Энэ нь өндөр энергийн нягтрал, өндөр нарийвчлал, лазер энергийн үр ашигтай дамжуулалтыг ашигладаг бөгөөд цэвэрлэгээний үр ашиг, цэвэрлэгээний нарийвчлал, цэвэрлэгээний байршлын хувьд уламжлалт цэвэрлэгээний технологиудаас илэрхий давуу талтай. Энэ нь химийн зэврэлтээс цэвэрлэх болон бусад цэвэрлэгээний технологиос үүдэлтэй хүрээлэн буй орчны бохирдлоос үр дүнтэй зайлсхийх боломжтой бөгөөд суурь дээр гэмтэл учруулахгүй.
Тэгэхээр лазер цэвэрлэгээ гэж юу вэ? Лазер цэвэрлэгээ гэдэг нь хатуу (эсвэл заримдаа шингэний) гадаргуугаас материалыг арилгахын тулд лазер туяаг ашиглах үйл явц юм. Лазерын урсгал бага үед материалыг шингээсэн лазерын энергиэр халааж, ууршдаг эсвэл сублимацияд оруулдаг. Лазерын урсгал өндөр үед материал нь ихэвчлэн плазм болж хувирдаг. Ихэвчлэн лазер цэвэрлэгээ гэдэг нь импульсийн лазер ашиглан материалыг зайлуулахыг хэлдэг боловч хэрэв лазерын эрчим хангалттай өндөр байвал материалыг абляци хийхэд тасралтгүй долгионы лазер туяаг ашиглаж болно. Гүн хэт ягаан туяаны экзимер лазерыг голчлон оптик абляцид ашигладаг. Оптик абляцид ашигладаг лазерын долгионы урт нь ойролцоогоор 200 нм юм. Лазерын энергийг шингээх гүн болон ганц лазерын импульсээр зайлуулсан материалын хэмжээ нь материалын оптик шинж чанар, түүнчлэн лазерын долгионы урт болон импульсийн уртаас хамаарна. Лазерын импульс бүрийн байнаас абляцилагдсан нийт массыг ихэвчлэн абляцийн хурд гэж нэрлэдэг. Лазерын цацрагийн сканнердах хурд болон сканнердах шугамын хамрах хүрээ гэх мэт нь абляцийн процесст мэдэгдэхүйц нөлөөлнө.
Лазер цэвэрлэгээний технологийн төрлүүд
1) Лазер хуурай цэвэрлэгээ: Хуурай лазер цэвэрлэгээ гэдэг нь цэвэрлэх ажлын хэсгийг импульсийн лазераар шууд цацраг туяагаар цацруулж, суурь буюу гадаргуугийн бохирдуулагчид энерги шингээж, температурыг нэмэгдүүлж, улмаар суурийн дулааны тэлэлт буюу дулааны чичиргээ үүсгэж, улмаар энэ хоёрыг салгах үйл явцыг хэлнэ. Энэ аргыг ойролцоогоор хоёр нөхцөл байдалд хувааж болно: нэг нь гадаргуугийн бохирдуулагчид лазерын энергийг шингээж, тэлдэг; нөгөө нь суурь нь лазерын энергийг шингээж, дулааны чичиргээ үүсгэдэг. 1969 онд С.М.Бедайр нар дулааны боловсруулалт, химийн зэврэлт, элсээр цэвэрлэх зэрэг янз бүрийн гадаргуугийн боловсруулалтын аргууд нь бүгд өөр өөр сул талуудтай болохыг олж мэдсэн. Үүний зэрэгцээ, лазер фокусын дараах өндөр энергийн нягтрал нь материалын гадаргуугийн ууршилтын үзэгдлийг боломжтой болгож, материалын гадаргууг эвдэхгүй цэвэрлэх боломжийг олгодог. Туршилтаар 30 МВт/см2 чадлын нягтралтай бадмаараг Q-шилжүүлэгч лазер ашиглан цахиурын материалын гадаргуугийн бохирдлыг суурийг гэмтээхгүйгээр цэвэрлэж болохыг тогтоосон бөгөөд анх удаа материалын гадаргуугийн бохирдлыг лазераар хуурай цэвэрлэгээ хийсэн. Нийт хурдыг хальсан давхаргын хэлтэрхийнүүдийн салалтын хурдаар дараах байдлаар илэрхийлж болно.
Томъёонд ε нь лазерын импульсийн энергийн индексийг, h нь бохирдуулагч хальсан давхаргын зузааны индексийг, E нь хальсан давхаргын уян хатан модулийн индексийг илэрхийлнэ.
2) Лазер нойтон цэвэрлэгээ: Цэвэрлэх ажлын хэсгийг импульсийн лазерт өртөхөөс өмнө гадаргууг урьдчилан бүрэх шингэн хальс түрхдэг. Лазерын үйлчлэлээр шингэн хальсны температур хурдан өсч, ууршдаг. Ууршуулах үед цохилтын долгион үүсдэг бөгөөд энэ нь бохирдуулагч хэсгүүдэд нөлөөлж, тэдгээрийг суурь материалаас салгахад хүргэдэг. Энэ арга нь суурь болон шингэн хальс нь хоорондоо урвалд орохгүй байхыг шаарддаг тул хэрэглэх материалын хүрээг хязгаарладаг. 1991 онд К. Имен нар уламжлалт цэвэрлэгээний аргыг хэрэглэсний дараа хагас дамжуулагч вафли болон металл материалын гадаргуу дээр үлдэгдэл дэд микрон хэсгүүдийн бохирдуулагчийн асуудлыг авч үзэж, лазерын энергийг үр дүнтэй шингээж чаддаг материалын суурь материалын гадаргуу дээр хальс түрхэх аргыг судалсан. Үүний дараа CO2 лазер ашиглан хальс нь лазерын энергийг шингээж, температурыг хурдан нэмэгдүүлж, буцалгаж, тэсрэх ууршилт үүсгэж, суурь материалын гадаргуугаас бохирдуулагчийг зайлуулсан. Энэхүү цэвэрлэгээний аргыг лазер нойтон цэвэрлэгээ гэж нэрлэдэг.
3) Лазер плазмын цочролын долгионы цэвэрлэгээ: Лазер нь агаарын орчинг цацруулж, бөмбөрцөг хэлбэртэй плазмын цочролын долгион үүсгэх үед лазер плазмын цочролын долгион үүсдэг. Цочролын долгион нь цэвэрлэгдэх ажлын гадаргуу дээр үйлчилж, бохирдуулагчийг зайлуулах энерги ялгаруулдаг. Лазер нь суурь дээр үйлчилдэггүй тул суурь дээр гэмтэл учруулахгүй. Лазер плазмын цочролын долгионы цэвэрлэгээний технологи нь одоо хэдэн арван нанометрийн диаметртэй хэсгүүдийг цэвэрлэж чаддаг бөгөөд лазерын долгионы уртад ямар ч хязгаарлалт байхгүй. Плазмын цэвэрлэгээний физик зарчмыг дараах байдлаар нэгтгэн дүгнэж болно: a) Лазераас ялгарч буй лазер туяа нь боловсруулсан гадаргуу дээрх бохирдлын давхаргад шингэдэг. b) Их хэмжээний шингээлт нь хурдан тэлж буй плазм (өндөр ионжуулсан тогтворгүй хий) үүсгэж, цохилтын долгион үүсгэдэг. c) Цочролын долгион нь бохирдуулагчийг задалж, зайлуулахад хүргэдэг. d) Гэрлийн импульсийн импульсийн өргөн нь боловсруулсан гадаргууг гэмтээж болзошгүй дулааны хуримтлалаас зайлсхийхийн тулд хангалттай богино байх ёстой. e) Туршилтууд нь металлын гадаргуу дээр исэл байх үед металлын гадаргуу дээр плазм үүсдэг болохыг харуулсан. Плазм нь зөвхөн энергийн нягтрал нь босго хэмжээнээс давсан үед үүсдэг бөгөөд энэ нь арилгасан бохирдлын давхарга эсвэл исэл давхаргаас хамаарна. Энэхүү босго нөлөө нь субстратын материалын аюулгүй байдлыг хангахын зэрэгцээ үр дүнтэй цэвэрлэгээ хийхэд маш чухал юм. Плазмын гадаад төрх нь хоёр дахь босготой байдаг. Хэрэв энергийн нягтрал энэ босгоос давсан бол субстратын материал гэмтэх болно. Субстратын материалын аюулгүй байдлыг хангахын зэрэгцээ үр дүнтэй цэвэрлэгээ хийхийн тулд гэрлийн импульсийн энергийн нягтрал нь хоёр босгын хооронд яг байгаа эсэхийг баталгаажуулахын тулд лазерын параметрүүдийг нөхцөл байдалд тохируулан тохируулах шаардлагатай. 2001 онд Ж.М. Ли нар өндөр хүчин чадалтай лазерууд фокуслах үед плазмын цочролын долгион үүсгэдэг гэсэн шинж чанарыг ашиглан 2.0 Ж/см2 (цахиурын вафлийн гэмтлийн босгоос хамаагүй өндөр) энергийн нягтралтай импульсийн лазерыг ашиглан цахиурын вафлийн гадаргуу дээр шингэсэн 1 мкм вольфрамын хэсгүүдийг амжилттай цэвэрлэсэн. Энэхүү цэвэрлэгээний аргыг лазерын плазмын цочролын долгионы цэвэрлэгээ гэж нэрлэдэг бөгөөд хатуухан хэлэхэд лазерын плазмын цочролын долгионы цэвэрлэгээ нь хуурай лазерын цэвэрлэгээний нэг төрөл юм. Эдгээр гурван лазер цэвэрлэх технологийн анхны зорилго нь хагас дамжуулагч вафлийн гадаргуу дээрх жижиг хэсгүүдийг цэвэрлэх явдал байв. Лазер цэвэрлэх технологи нь хагас дамжуулагч технологийн хөгжилтэй хамт гарч ирсэн гэж хэлж болно. Гэсэн хэдий ч лазер цэвэрлэх технологийг дугуйны хэв цэвэрлэх, онгоцны арьсан будгийг арилгах, эд өлгийн гадаргууг сэргээх зэрэг бусад салбарт тасралтгүй хэрэгжүүлсээр ирсэн. Лазер цацрагийн нөлөөн дор инертийн хий нь суурь гадаргуу дээр үлээгддэг. Бохирдуулагчийг гадаргуугаас хуулж авахад тэдгээрийг хий шууд үлээж, гадаргууг дахин бохирдуулж, исэлдүүлэхээс сэргийлнэ.
ньлазер цэвэрлэх технологийг хэрэглэх нь
1) Хагас дамжуулагч салбарт хагас дамжуулагч хавтан болон оптик суурь материалыг цэвэрлэх нь түүхий эдийг зүсэх, нунтаглах гэх мэтээр шаардлагатай хэлбэрт оруулахтай ижил процессыг хамардаг. Энэ процессын явцад арилгахад хэцүү, давтан бохирдлын ноцтой асуудал үүсгэдэг тоосонцор бохирдуулагч бодисууд нэвтэрдэг. Хагас дамжуулагч хавтан гадаргуу дээрх бохирдуулагч нь хэлхээний самбарын хэвлэх чанарт нөлөөлж, улмаар хагас дамжуулагч чипийн ашиглалтын хугацааг богиносгодог. Оптик суурь гадаргуу дээрх бохирдуулагч нь оптик төхөөрөмж болон бүрхүүлийн чанарт нөлөөлж, энергийн жигд бус хуваарилалтад хүргэж, ашиглалтын хугацааг богиносгодог. Лазер хуурай цэвэрлэгээ нь суурь гадаргууг гэмтээх хандлагатай тул энэ цэвэрлэгээний аргыг хагас дамжуулагч хавтан болон оптик суурь материалыг цэвэрлэхэд бага ашигладаг. Лазер нойтон цэвэрлэгээ болон лазер плазмын цочролын долгионы цэвэрлэгээ нь энэ салбарт илүү амжилттай хэрэглэгдэж байна. Сюй Чуаньи нар хэт гөлгөр оптик суурь гадаргуу дээр диэлектрик хальс болгон бичил хэмжээний тусгай соронзон будгийг тунадасжуулахыг судалж, дараа нь импульсийн лазерыг цэвэрлэгээнд ашигласан. Цэвэрлэгээний үр нөлөө сайн байсан ч нэгж талбай дахь хольцын тоо нэмэгдэж, хольцын хэсгүүдийн хэмжээ, бүрхүүлийн талбай мэдэгдэхүйц багассан. Энэ арга нь хэт гөлгөр оптик суурь материалын гадаргуу дээрх бичил хэмжээний хольцын хэсгүүдийг үр дүнтэй цэвэрлэж чадна. Жан Пин лазер плазмын цэвэрлэгээний технологид янз бүрийн хэмжээтэй бохирдуулагчийн цэвэрлэгээний үр дүнд ажлын зай болон лазерын энергийн нөлөөллийг судалсан. Туршилтын үр дүнгээс харахад дамжуулагч шилэн суурь материал дээрх полистирол хэсгүүдийн хувьд 240 мЖ энергийн оновчтой ажлын зай нь 1.90 мм байв. Лазерын энерги нэмэгдэхийн хэрээр цэвэрлэгээний үр нөлөө мэдэгдэхүйц сайжирч, том хэмжээтэй бохирдуулагчийг цэвэрлэхэд хялбар болсон.
2) Металл материалын салбарт металл материалын гадаргууг цэвэрлэх нь хагас дамжуулагч вафли болон оптик суурь цэвэрлэхээс өөр байдаг. Цэвэрлэх бохирдуулагч нь макроскопийн ангилалд багтдаг. Металл материалын гадаргуу дээрх бохирдуулагчид голчлон исэлдсэн давхарга (зэвний давхарга), будгийн давхарга, бүрхүүл болон бусад хавсралтуудыг агуулдаг бөгөөд органик бохирдуулагч (будагны давхарга, бүрхүүл гэх мэт) болон органик бус бохирдуулагч (зэвний давхарга гэх мэт) гэж ангилж болно. Металл материалын гадаргуугийн бохирдуулагчийг цэвэрлэх нь голчлон дараагийн боловсруулалт эсвэл хэрэглээний шаардлагыг хангахад оршино, тухайлбал гагнуурын өмнө титан хайлшийн эд ангийн гадаргуугаас 10 мкм орчим исэлдсэн давхаргыг зайлуулах, онгоцны томоохон засварын үеэр арьсны гадаргуу дээрх анхны будгийн бүрхүүлийг арилгахын тулд дахин шүрших ажлыг хөнгөвчлөх, резинэн дугуйны хэвэнд наалдсан резинэн хэсгүүдийг тогтмол цэвэрлэх зэрэг нь гадаргуугийн цэвэр байдал, хэвний чанар, ашиглалтын хугацааг баталгаажуулдаг. Металл материалын гэмтлийн босго нь гадаргуугийн бохирдуулагчийн лазер цэвэрлэх босгоос өндөр байдаг. Тохирох цахилгаан лазер сонгосноор илүү сайн цэвэрлэгээний үр дүнд хүрч болно. Энэ технологийг зарим салбарт эртнээс хэрэгжүүлж ирсэн. Ван Лихуа нар хөнгөн цагааны хайлш болон титаны хайлшийн гадаргуу дээрх исэлдсэн бүрхүүлийг боловсруулахад лазер цэвэрлэх технологийг хэрэглэх талаар судалсан. Судалгааны үр дүнгээс харахад 5.1 Ж/см2 энергийн нягтралтай лазер ашиглан A5083-111H хөнгөн цагааны хайлшийн гадаргуу дээрх исэлдсэн давхаргыг цэвэрлэж, суурь материалын сайн чанарыг хадгалах боломжтой бөгөөд 100 Вт-ын дундаж чадалтай импульсийн лазерыг сканнердах аргаар ашиглах нь титаны хайлшийн гадаргуу дээрх исэлдсэн давхаргыг үр дүнтэй цэвэрлэж, материалын гадаргуугийн хатуулгийг сайжруулж чадна. Ruike Laser, Daqu Laser, Shenzhen Chuangxin зэрэг дотоодын компаниуд дугуй, металлын зэвний давхарга, эд ангийн гадаргуу дээрх тосны толбо зэрэг резинэн хэвийг цэвэрлэхэд өргөн хэрэглэгддэг лазер цэвэрлэх төхөөрөмжийг боловсруулсан.
3) Соёлын дурсгалт зүйлсийн салбарт металл болон чулуун дурсгалт зүйлс болон цаасан гадаргууг цэвэрлэх нь тэдгээрийн урт хугацааны түүхээс шалтгаалан гадаргуу дээр гарч буй шороо, бэхний толбо зэрэг бохирдлыг арилгахад зайлшгүй шаардлагатай. Эдгээр бохирдлыг арилгахын тулд дурсгалт зүйлсийг сэргээх шаардлагатай. Уран бичлэг, уран зураг зэрэг цаасан бүтээлийн хувьд зохисгүй хадгалсан тохиолдолд гадаргуу дээр нь хөгц ургаж, толбо үүсгэдэг. Эдгээр толбо нь цаасны анхны төрх байдалд, ялангуяа соёлын болон түүхийн өндөр үнэ цэнэтэй цаасны хувьд ноцтой нөлөөлдөг бөгөөд энэ нь түүний үнэ цэнэ, хамгаалалтад нөлөөлнө. Жао Ин нар цаасан хуйлмал дээрх хөгцний толбыг цэвэрлэхэд хэт ягаан туяаны лазер ашиглах боломжийг судалсан. Туршилтын үр дүнгээс харахад 3.2 Ж/мм2 энергийн нягтралтай лазер ашиглан нэг удаа сканнердах нь нимгэн толбыг арилгаж, хоёр удаа сканнердах нь толбыг бүрэн арилгаж чадна. Гэсэн хэдий ч ашигласан лазерын энерги хэт өндөр байвал толбыг арилгахын зэрэгцээ цаасан хуйлмал дээр гэмтэл учруулна. Жан Сяотун нар лазер босоо цацрагийн шингэн хальсны аргыг ашиглан алтадмал хүрэл дурсгалт зүйлийг амжилттай сэргээн засварласан. Жан Личен нар Хань гүрний үеийн эмэгтэй вааран баримлыг сэргээн засварлахад лазер цэвэрлэх технологийг ашигласан. Юань Сяодун нар чулуун эдлэлийг цэвэрлэхэд лазер цэвэрлэх технологийн нөлөөг судалж, цэвэрлэхийн өмнө болон дараа элсэн чулуун биед учирсан хохирлыг, мөн бэхний толбо, утааны бохирдол, будгийн бохирдлын цэвэрлэгээний нөлөөг харьцуулсан.
Дүгнэлт: Лазер цэвэрлэх технологи нь харьцангуй дэвшилтэт техник бөгөөд сансар судлал, цэргийн тоног төхөөрөмж, электрон болон цахилгааны инженерчлэл зэрэг өндөр нарийвчлалтай салбарт өргөн хүрээтэй судалгаа, хэрэглээний хэтийн төлөвтэй. Одоогийн байдлаар лазер цэвэрлэх технологийг үр ашигтай, байгаль орчинд ээлтэй, маш сайн цэвэрлэгээний гүйцэтгэлийн ачаар зарим салбарт амжилттай хэрэгжүүлж байна. Хэрэглээний хүрээ аажмаар өргөжиж байна. Лазер цэвэрлэх технологийн хөгжил нь зөвхөн будаг арилгах, зэв арилгах зэрэг салбарт хэрэгжээд зогсохгүй сүүлийн жилүүдэд металл утсан дээрх исэл давхаргыг цэвэрлэхэд лазер ашигласан тухай мэдээлэл гарч байна. Одоо байгаа хэрэглээний салбарууд өргөжиж, шинэ салбарууд хөгжиж байгаа нь лазер цэвэрлэх технологийн хөгжлийн үндэс суурь болж байна. Шинэ лазер цэвэрлэх тоног төхөөрөмжийн судалгаа, хөгжүүлэлт, шинэ лазер цэвэрлэх тоног төхөөрөмжийн хөгжүүлэлт нь ялгаатай байдлыг харуулж, янз бүрийн функцийг бий болгоно. Ирээдүйд үйлдвэрлэлийн роботуудтай хамтран бүрэн автомат лазер цэвэрлэх боломжтой. Лазер цэвэрлэх технологийн хөгжлийн чиг хандлага дараах байдалтай байна.
(1) Лазер цэвэрлэх технологийг хэрэглэхэд чиглүүлэхийн тулд лазер цэвэрлэх онолын судалгааг бэхжүүлэх. Олон тооны баримт бичгийг хянаж үзсэний дараа лазер цэвэрлэх технологийг дэмжих боловсорсон онолын систем байхгүй бөгөөд ихэнх судалгаа нь туршилтад суурилсан болохыг тогтоожээ. Лазер цэвэрлэх онолын системийг бий болгох нь лазер цэвэрлэх технологийн цаашдын хөгжил, төлөвшлийн үндэс суурь юм.
(2) Одоо байгаа хэрэглээний талбаруудыг өргөжүүлэх болон шинэ хэрэглээний талбаруудыг бий болгох. Лазер цэвэрлэгээний технологийг будаг арилгах, зэв арилгах зэрэг салбарт амжилттай хэрэгжүүлж байгаа бөгөөд сүүлийн жилүүдэд металл утсан дээрх исэл давхаргыг цэвэрлэхэд лазер ашигласан тухай мэдээлэл гарсан. Одоо байгаа хэрэглээний талбаруудыг өргөжүүлэх, шинэ салбаруудыг хөгжүүлэх нь лазер цэвэрлэгээний технологийг хөгжүүлэх үржил шимтэй хөрс юм.
(3) Шинэ лазер цэвэрлэгээний тоног төхөөрөмжийн судалгаа, хөгжүүлэлт. Шинэ лазер цэвэрлэгээний тоног төхөөрөмжийн хөгжүүлэлт нь ялгааг харуулах болно. Нэг төрөл нь олон хэрэглээний салбарыг хамарсан тодорхой түгээмэл тоног төхөөрөмж бөгөөд жишээлбэл, нэг төхөөрөмж нь будаг арилгах, зэв арилгах функцийг нэгэн зэрэг гүйцэтгэх боломжтой. Нөгөө төрөл нь жижиг орон зайд бохирдуулагч бодисыг цэвэрлэх функцийг хэрэгжүүлэхийн тулд тусгай бэхэлгээ эсвэл оптик шилэн кабелийг зохион бүтээх гэх мэт тодорхой хэрэгцээнд зориулагдсан тусгай тоног төхөөрөмж юм. Аж үйлдвэрийн роботуудтай хамтран ажилласнаар бүрэн автомат лазер цэвэрлэгээ нь мөн түгээмэл хэрэглээний чиглэл юм.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 7-р сарын 17
